산업용 현미경
LSI Inspection Microscope L200N/L200ND
- 8"Wafer/Mask 검사용 현미경
- 스테이지이송거리: 205mmx205mm
- 관찰모드: 명시야,암시야,편광,DIC,형광
- 배율: 10X~1500X(배율전환장치:자동)
- 소프트웨어및 카메라장착 가능
- L200N(반사전용) L200ND(투과 반사 겸용)
C/FPD Inspetion Microscope L300N/L300ND
- 12" Wafer/LCD검사용 현미경
- 스테이지 이송거리: 354mm(X)x302mm(Y)
- 배율: 10X~1500X
- L300(반사전용), L300D(투과/반사겸용)
