[ ICFPD검사현미경 ] L200N/L200ND
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LSI Inspection Microscope L200N/L200ND |
- 8"Wafer/Mask 검사용 현미경 |
- 스테이지이송거리: 205mmx205mm |
- 관찰모드: 명시야,암시야,편광,DIC,형광 |
- 배율: 10X~1500X(배율전환장치:자동) |
- 소프트웨어및 카메라장착 가능 |
- L200N(반사전용) L200ND(투과 반사 겸용) |
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